La photolithographie est un procédé utilisé en microfabrication pour transférer des motifs géométriques sur un film ou un substrat. Les formes géométriques et les motifs sur un semi-conducteur constituent les structures complexes qui permettent aux dopants, aux propriétés électriques et aux fils de compléter un circuit et de remplir un objectif technologique.
Qu'est-ce que le processus de photolithographie ?
La photolithographie, également appelée lithographie optique ou lithographie UV, est un procédé utilisé en microfabrication pour modeler des pièces sur un film mince ou la masse d'un substrat (également appelé wafer). … Dans les circuits intégrés complexes, une plaquette CMOS peut passer par le cycle photolithographique jusqu'à 50 fois.
Quels sont les processus de microfabrication ?
La microfabrication est le processus de fabrication de structures miniatures d'échelles micrométriques et plus petites. … Les principaux concepts et principes de la microfabrication sont la microlithographie, le dopage, les couches minces, la gravure, le collage et le polissage.
Qu'est-ce que le processus de lithographie dans les semi-conducteurs ?
Un système de lithographie à semi-conducteurs entreprend un processus par lequel des motifs de circuit très complexes dessinés sur un photomasque constitué d'une grande plaque de verre sont réduits à l'aide de lentilles ultra-hautes performances et exposés sur un substrat de silicium connu sous le nom deune plaquette. …
Qu'est-ce que la lithographie dans le processus de fabrication ?
La lithographie estprocessus de transfert de motifs de formes géométriques dans un masque sur une fine couche de matériau sensible aux radiations (appelée résine) recouvrant la surface d'une tranche de semi-conducteur. La figure 5.1 illustre schématiquement le processus lithographique utilisé dans la fabrication de circuits intégrés.
