La photolithographie est couramment utilisée pour produire des puces informatiques. Lors de la production de puces informatiques, le matériau du substrat est une tranche de silicium recouverte de résine. Ce processus permet de construire simultanément des centaines de puces sur une seule plaquette de silicium.
Comment se fait la photolithographie ?
La photolithographie utilise trois étapes de processus de base pour transférer un motif d'un masque à une plaquette: enduire, développer, exposer. Le motif est transféré dans la couche de surface de la plaquette au cours d'un processus ultérieur. Dans certains cas, le motif de réserve peut également être utilisé pour définir le motif d'un film mince déposé.
Pourquoi s'appelle-t-on photolithographie ?
Lithographie des semi-conducteurs (photolithographie) - Le processus de base . La fabrication d'un circuit intégré (CI) nécessite une variété de processus physiques et chimiques effectués sur un substrat semi-conducteur (par exemple, du silicium). … Le mot lithographie vient du grec lithos, qui signifie pierres, et graphia, qui signifie écrire.
Pourquoi la lithographie est-elle importante ?
La lithographie est le processus de transfert de motifs de formes géométriques dans un masque sur une fine couche de matériau sensible aux rayonnements (appelé résist) recouvrant la surface d'une tranche de semi-conducteur. La figure 5.1 illustre schématiquement le processus lithographique utilisé dans la fabrication de circuits intégrés.
Quelle est la méthode la plus largement utilisée dans les méthodes lithographiques ?
Optiquela lithographie est une technique basée sur les photons consistant à projeter une image dans une émulsion photosensible (photoréserve) déposée sur un substrat tel qu'une plaquette de silicium. Il s'agit du procédé de lithographie le plus largement utilisé dans la fabrication à grand volume de nanoélectronique par l'industrie des semi-conducteurs.
